ESC Chuck

Semicorex ESC Chuck utilizează forțe electrostatice pentru a menține controlul precis asupra poziției plachetei, asigurând precizie și repetabilitate ridicate în mediile de producție a semiconductoarelor. Designul mandrinei ESC, împreună cu selecția robustă a materialelor și dimensiunile personalizabile, îl face un instrument versatil și esențial în procese precum gravarea, depunerea și implantarea ionică.

Mandrina ESC funcționează prin aplicarea unui câmp electrostatic de înaltă tensiune între electrozii mandrinei și napolitană, creând o forță atractivă care ține napolitana pe loc. Placa, de obicei realizată din siliciu sau carbură de siliciu, este asigurată de această forță, permițând operații precise în medii cu vid înalt. Acest sistem elimină nevoia de prindere mecanică sau de prindere cu vid, care poate introduce contaminanți sau deforma napolitana. Folosind o mandrina ESC, producatorii pot obtine un mediu mai curat si mai stabil pentru procesele delicate de fabricatie, ceea ce duce la randamente mai mari si rezultate mai consistente.

Unul dintre avantajele cheie ale tehnologiei ESC este capacitatea sa de a menține o prindere fermă pe napolitană în timp ce distribuie forța uniform pe suprafața acesteia. Acest lucru asigură că placheta rămâne plată și stabilă, ceea ce este esențial pentru obținerea gravării sau depunerii uniforme, în special în procesele în care este necesară o precizie submicroanică. Dimensiunile personalizabile ale mandrinei ESC îi permit să găzduiască napolitane de diferite dimensiuni, de la napolitane standard de 200 mm și 300 mm până la dimensiuni specializate, non-standard, utilizate în cercetare și dezvoltare sau în producția de dispozitive semiconductoare de nișă.

Materialele utilizate în construcția mandrina ESC sunt atent selectate pentru a asigura compatibilitatea cu mediile dure întâlnite în mod obișnuit în procesarea semiconductoarelor. Alumina ceramică de înaltă puritate este utilizată datorită proprietăților excelente de izolare electrică, stabilității termice și rezistenței la coroziune cu plasmă. Aceste proprietăți permit mandrinei să funcționeze eficient atât în ​​condiții de temperatură ridicată, cât și în condiții de vid înalt, oferind durabilitatea și fiabilitatea necesare utilizării pe termen lung într-un mediu de cameră curată.

Personalizarea este un alt beneficiu semnificativ al mandrinelor ESC. În funcție de cerințele specifice ale unui proces de fabricare a semiconductorilor, dimensiunile mandrinei, configurațiile electrozilor și compozițiile materialelor pot fi adaptate pentru a satisface nevoile unice ale echipamentului și ale plăcilor care sunt procesate. Indiferent dacă aplicația implică gravarea cu plasmă, depunerea chimică a vaporilor (CVD) sau depunerea fizică a vaporilor (PVD), mandrina ESC poate fi proiectată pentru a optimiza performanța și a menține integritatea plachetei în timpul procesării.