Mandrină electrostatică

Folosind ceramică de alumină de înaltă puritate, mandrina electrostatică Semicorex oferă performanțe de top în setări care acordă prioritate preciziei, stabilității și curățeniei. Alumina, cunoscută și sub denumirea de oxid de aluminiu (Al2O3), este un material ceramic renumit pentru proprietățile sale excepționale de izolare electrică, conductivitate termică ridicată și rezistență mecanică remarcabilă. Aceste proprietăți îl fac un material ideal pentru construirea mandrinei electrostatice, proiectat să reziste la condițiile solicitante ale procesării semiconductoarelor. ESC din ceramică cu alumină este proiectat pentru a rezista la temperaturi ridicate, medii corozive și stres mecanic în timpul manipulării și prelucrării plachetelor, jucând un rol critic în asigurarea randamentului și calității dispozitivelor semiconductoare.

Principiul de bază din spatele mandrinei electrostatice este forța electrostatică, utilizată pentru a ține în siguranță napolitana pe loc. Această forță este generată prin aplicarea unei tensiuni electrozilor încorporați în materialul ceramic. Interacțiunea dintre câmpul electrostatic și sarcinile induse de pe suprafața plachetei creează o forță puternică de strângere care ține napolitana de suprafața mandrinei. Designul ESC din ceramică cu alumină asigură că această forță de strângere este distribuită uniform pe napolitană, minimizând riscul de alunecare sau deteriorare în timpul procesării.

Unul dintre avantajele cheie ale utilizării ceramicii de alumină în construcția mandrinei electrostatice este proprietățile sale excepționale de izolare electrică. Rigiditatea dielectrică ridicată a aluminei permite aplicarea unor tensiuni înalte fără riscul de defectare electrică, crucială pentru menținerea integrității câmpului electrostatic. Acest lucru este deosebit de important în procese precum gravarea cu plasmă sau depunerea chimică a vaporilor, în care placheta este expusă la medii foarte reactive și orice variație a forței de strângere poate duce la defecte sau deteriorarea plachetei.

Pe lângă proprietățile sale electrice, ceramica cu alumină prezintă o conductivitate termică excelentă, esențială pentru gestionarea căldurii generate în timpul procesării semiconductoarelor. Capacitatea mandrinei electrostatice de a disipa eficient căldura ajută la menținerea unei temperaturi stabile peste plachetă, reducând gradienții termici care ar putea duce la deformare sau alte forme de stres termic. Această stabilitate termică este esențială pentru asigurarea preciziei și repetabilității proceselor, cum ar fi fotolitografia, unde chiar și abaterile ușoare de temperatură pot afecta rezultatul.