Semicorex este un producător și furnizor pe scară largă de produse acoperite cu carbură de siliciu în China. Oferim soluții personalizate pentru cuptor. Cuptorul nostru de vid CVD și CVI are un avantaj bun de preț și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung.
Cuptorul de vid Semicorex CVD și CVI este un instrument de înaltă calitate conceput pentru procesele de depunere chimică în vapori (CVD). Temperaturile de reacție până la 2200°C. Este capabil să depună o gamă largă de materiale, inclusiv carbură de siliciu, nitrură de bor, grafen și multe altele. Cuptorul CVD are un design robust și este realizat din materiale de înaltă calitate, asigurând fiabilitate și durabilitate pentru utilizare pe termen lung. Are structuri atât orizontale, cât și verticale.
Aplicație:Disc de frână compozit C/C, creuzet, matriță și etc.
Caracteristicile cuptorului cu vid Semicorex CVD și CVI
1. Design robust realizat din materiale de înaltă calitate pentru utilizare pe termen lung;
2. Livrarea de gaz controlată cu precizie prin utilizarea regulatoarelor de flux de masă și a supapelor de înaltă calitate;
3. Echipat cu caracteristici de siguranță, cum ar fi protecție la supra-temperatură și detectarea scurgerilor de gaz pentru o funcționare sigură și fiabilă;
4. Folosind mai multe zone de control al temperaturii, uniformitate mare a temperaturii;
5.Cameră de depunere special concepută, cu efect de etanșare bun și performanță mare anti-contaminare;
6. Folosind mai multe canale de depunere cu flux uniform de gaz, fără colțuri moarte de depunere și suprafață de depunere perfectă;
7. Are tratament pentru gudron, praf solid și gaze organice în timpul procesului de depunere
Caracteristici optionale:
•Ușa cuptorului: tip șurub/hidraulic/manual; deschidere batanta/deschidere paralelă (dimensiuni mari
ușa cuptorului); strâns manual/ inel de blocare automat
• Vas cuptor: integral din oțel carbon/strat interior din oțel inoxidabil/tot din oțel inoxidabil
•Zonă fierbinte a cuptorului: pâslă de carbon moale/pâslă de grafit moale/pâslă compozită rigidă/CFC
•Element de încălzire și mufă: grafit izostatic de presare/grafit de înaltă puritate, rezistență și densitate/grafit de dimensiuni fine
• Sistem de gaz de proces: debitmetru volum/masă
• Termocuplu: tip K/tip N/tip C/tip S
Specificațiile cuptorului CVD |
|||||
Model |
Dimensiunea zonei de lucru (L × H × L) mm |
Max. Temperatura (°C) |
Temperatură Uniformitate (°C) |
Vacuum final (Pa) |
Rata de creștere a presiunii (Pa/h) |
LFH-6900-C |
600×600×900 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-10015-C |
1000×1000×1500 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1220-C |
1200×1200×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1530-C |
1500×1500×3000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-2535-C |
2500×2000×3500 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D3050-C |
φ300×500 |
1500 |
±5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D6080-C |
φ600×800 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D8120-C |
φ800×1200 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D11-C |
φ1100×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D26-C |
φ2600×3200 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
* Parametrii de mai sus pot fi ajustați la cerințele procesului, nu sunt ca standard de acceptare, specificațiile detaliate. vor fi precizate în propunerea tehnică și acordurile.