Tavă de suport pentru creuzet

În producția de semiconductori la temperatură înaltă, stabilitatea și precizia sunt esențiale pentru a asigura o calitate constantă a cristalului. Semicorex Crucible Support Tava joacă un rol vital, dar adesea trecut cu vederea în menținerea integrității procesului de creștere a cristalelor, oferind o bază de încredere în condiții termice și mecanice extreme.

Tava de susținere a creuzetului, cunoscută și sub numele de acarbon/carbon (C/C)suport pentru creuzet, este special conceput pentru a susține creuzetele de cuarț sau grafit în timpul creșterii siliciului monocristal. Poziționată la baza câmpului termic, această componentă trebuie să reziste la expunerea prelungită la temperaturi ridicate, menținând în același timp integritatea structurală și stabilitatea dimensională. Designul său robust asigură că creuzetul rămâne bine poziționat pe tot parcursul procesului, reducând la minimum vibrațiile, deformarea sau alinierea greșită care ar putea afecta negativ calitatea cristalului.

Rolul tăvii de suport C/C

În timpul creșterii siliciului monocristalin, temperaturile depășesc adesea 1400°C. Materialele tradiționale din grafit, deși utile, se confruntă adesea cu provocări în ceea ce privește durata de viață și deformarea sub greutatea mare a siliciului topit. Tava noastră de suport pentru creuzetul compozit C/C rezolvă aceste puncte dureroase.

Prin utilizarea unei matrice ranforsate cu fibră de carbon de înaltă rezistență, această tavă oferă un profil de expansiune termică „aproape de zero” și o capacitate de suportare excepțională. Acesta servește ca interfață între creuzet și arborele rotativ, menținând un plan perfect nivelat pentru a preveni turbulențele topiturii și defectele cristalului.

Specificații tehnice și excelență materială

Densitate: ≥ 1,3 g/cm³

Rezistența la încovoiere: ≥ 110 MPa

Coeficientul de dilatare termică (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Rezistența la compresiune:  ≥ 160 MPa