Mandrine ceramice electrostatice

Mandrinele electrostatice ceramice Semicorex sunt componente de adsorbție electrostatică de precizie realizate din ceramică de alumină și nitrură de aluminiu de înaltă performanță, care utilizează principiul adsorbției electrostatice pentru a fixa și fixa napolitanele. Este utilizat pe scară largă în domeniile producției de semiconductori. Semicorex are tehnologie avansată, materiale de înaltă calitate și produse rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. de aprovizionare de încredere în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Mandrine ceramice electrostaticesunt componente de precizie care folosesc câmpul electrostatic generat între electrozi și plachete pentru a fixa și fixa plachetele. Ele sunt aplicate pe scară largă în domenii precum semiconductori, afișaje cu ecran plat și optică și sunt componente de bază ale echipamentelor de ultimă generație, cum ar fi dispozitivele PVD, mașinile de gravare și implantatoarele de ioni.

În comparație cu mandrinele mecanice tradiționale și mandrinele cu vid, mandrinele electrostatice ceramice au multe avantaje în domeniul producției de semiconductori. Această mandrină electrostatică din ceramică folosește electricitatea statică pentru a aplatiza și a ține uniform napolitanele pe suprafața sa. Această forță de adsorbție uniformă poate menține obiectul adsorbit relativ plat, evitândnapolitanadeformarea sau deformarea care poate fi cauzată de mandrinele mecanice tradiţionale saumandrine cu vidși asigurarea faptului că placheta menține acuratețea procesării adecvată proceselor cu semiconductori de înaltă precizie.

Unele mandrine electrostatice ceramice au funcții de încălzire integrate, care pot controla cu precizie temperatura plachetei prin gaz de suflare înapoi sau electrozi de încălzire interni, se pot adapta la cerințele stricte de temperatură ale diferitelor procese și pot îmbunătăți stabilitatea procesării.

Spre deosebire de mandrinele mecanice, mandrinele electrostatice ceramice reduc piesele mecanice în mișcare, reduc impactul particulelor de contaminare asupra calității plachetelor, protejează eficient curățenia suprafeței plachetei și îmbunătățește randamentul produsului.

Mandrinele electrostatice ceramice oferă o compatibilitate largă. Acestea pot găzdui napolitane de diferite dimensiuni și materiale, inclusiv siliciu, arseniură de galiu și carbură de siliciu, satisfacând diverse nevoi de fabricație a semiconductorilor.

Ele pot funcționa stabil în medii cu vid înalt, cum ar fi implantarea ionică și CVD, depășind limitarea mandrinelor de vid tradiționale care nu pot absorbi napolitanele într-un mediu de vid și îndeplinind perfect cerințele procesului de implantare ionică, depunere chimică de vapori (CVD) și alte procese în fabricarea semiconductoarelor.