Plăci de lustruit pentru napolitană de alumină

Napolitană de alumină Semicorex plăci de lustruitsunt piese prelucrate cu precizie realizate din alumină de înaltă puritate prin presare izostatică, sinterizare la temperatură înaltă și prelucrare de precizie. Sunt ideale pentru aplicații de lustruire de precizie cu cerințe stricte pentru precizie și eficiență ultra-înaltă a suprafeței, în special pentru lustruirea plachetelor semiconductoare, deoarece ceramica de alumină oferă proprietăți fizice și chimice excepționale.

---

Durată de viață lungă pentru o rezistență excelentă la uzură

Rezistența ridicată la uzură este esențială pentru plăcile de lustruire a plachetelor utilizate în prelucrarea de înaltă precizie. Duritatea Mohs a ceramicii cu alumină este de aproximativ 9, a doua după diamant și carbură de siliciu, ceea ce permite plăcilor de lustruire a plachetelor să reziste la condițiile de operare cu frecare de mare viteză, de mare capacitate în timpul lustruirii plachetelor semiconductoare cu pierderi reduse la uzură. Cu această rezistență excelentă la uzură, plăcile de lustruire a plachetelor de alumină prezintă o durată de viață durabilă, reducând semnificativ frecvența opririlor echipamentelor pentru înlocuire și reducând cheltuielile de întreținere și înlocuire.

Stabilitate termică excepțională și rezistență la temperaturi ridicate

AluminăPlăcile de lustruire a napolitanelor își pot menține proprietățile fizice și performanța la frecare în medii cu temperaturi ridicate de 1000℃ datorită stabilității lor termice excepționale și rezistenței la temperaturi ridicate. Sunt potrivite pentru condițiile de lucru cu temperaturi ridicate cauzate de frecarea frecventă, evitând eficient deformarea termică și contribuind la menținerea unei suprafețe de lustruire constantă.

Rezistență fiabilă la coroziune chimică

Plăcile de lustruire a plachetelor de alumină prezintă o rezistență fiabilă la coroziune chimică. Ele pot rezista la majoritatea acizilor și alcalinelor, precum și soluțiilor chimice comune de lustruire utilizate în procesul CMP. Planeitatea suprafeței lor nu va fi compromisă de coroziunea chimică, afectând astfel calitatea suprafeței plăcilor semiconductoare.

---

Aplicații pentru plăcile de lustruit pentru napolitane Semicorex Alumină

1.Lustruirea plachetelor semiconductoare

Plăcile de lustruire a plachetelor de alumină sunt utilizate pe scară largă în șlefuirea, lustruirea brută și lustruirea finală a siliconului, SiC, safirului și diferitelor substraturi de napolitană. Datorită rugozității lor ultra-scăzute și planeității suprafeței la scară nanometrică, plăcile de lustruire a plachetelor de alumină pot îndeplini în mod ideal cerințele exigente de calitate a suprafeței ale proceselor avansate de semiconductor precum gravarea și litografia.

2. Diluarea napolitanelor și lustruirea marginilor

În timpul procesului de subțiere a plachetelor, plăcile de lustruire a plachetelor de alumină pot fi folosite pentru a controla cu precizie grosimea plachetelor și pentru a îndepărta uniform materialele din spate. În procesul de lustruire a marginilor, plăcile de lustruire cu alumină pot ajuta, de asemenea, la obținerea calității optime a marginilor plachetei prin eliminarea bavurilor și a defectelor de la marginile plăcilor.