Semicorex Alumina Robot Arm este o componentă ceramică de înaltă performanță, proiectată pentru o manipulare precisă a waferului la fabricarea semiconductorilor. Forța sa superioară, izolația și stabilitatea termică o fac ideală pentru a solicita medii de automatizare a camerelor curate.*
Semicorex Alumina Robot Arm este o parte ceramică de înaltă performanță, concepută pentru manipularea și sarcinile de transfer al waferului în producția de semiconductori. Fabricat din ceramică de alumină de înaltă puritate (Al₂o₃), acest braț robotizat oferă flexibilitate, precizie, dependență și durabilitate în camerele curate.
Ceea ce iese în evidență în favoarea brațului robotului de alumină sunt proprietățileCeramică de aluminărezistență mecanică și duritate. Caaluminăeste făcută mai pură, alumina menține o integritate structurală mai bună și o face mai rezistentă la uzura și deformarea mecanică. Ca material, alumina este o alegere excelentă pentru părțile robotizate care sunt utilizate în sarcini delicate și repetitive de manevrare a navei, adică atunci când un braț robot trebuie să îndeplinească aceeași funcție și să ia contact cu napolitane, că o distorsiune minoră aplicată la placă de către brațul robot poate costa pierderi de randament de facilitate. Duritatea ridicată, adică suprafețe rigide, poate ajuta la rezistență abrazivă și viață funcțională, adică prelungirea duratei de viață și a duratei serviciului/ înlocuirii unei componente robotice.
Dincolo de durabilitatea sa mecanică, brațul robotului de alumină este, de asemenea, un izolator electric excelent. Rezistivitatea este de până la 10¹⁵ Ω · cm, iar rezistența la izolare este de până la 15 kV/mm la temperatura camerei, oferind un mediu mult mai sigur pentru a funcționa, mai ales atunci când semnalele electrice interferente trebuie scăzute în echipamentul de procesare. Acest lucru devine important atunci când se protejează componentele semiconductoare sensibile care se transferă între procesele cu risc minim de deteriorare a descărcării electrostatice (ESD).
Ceramica de alumină este excelentă pentru a menține stabilitatea la temperaturi foarte ridicate. Punctul de topire este de aproximativ 2050 ° C și va rezista la temperaturi ridicate în procesarea termică semiconductoare fără a deforma sau de precizie dimensională. Rezistența ridicată la căldură permite utilizarea brațului în procese precum recoacerea termică rapidă (RTA) sau depunerea de vapori chimici (CVD), unde alinierea preciziei și stabilitatea termică sunt critice.
Unul dintre celelalte beneficii semnificative ale brațului robotului de alumină este inerția sa. Suprafața sa este inertă pentru majoritatea agenților de curățare și a gazelor de proces utilizate la fabricarea semiconductorilor. Prin urmare, va rămâne fără contaminare și nu va contribui la contaminarea suprafeței de placă. Această inerție chimică este esențială pentru realizarea condițiilor de producție ultra-curate și pentru a oferi performanțe consistente ale dispozitivului.
Ceramică de aluminăeste, de asemenea, o opțiune accesibilă pentru unelte cu semiconductor. Este ușor disponibil ca materie primă, iar procesele de prelucrare a ceramicii de alumină sunt bine înțelese și ușor de scalabile. Acest lucru permite toleranțele reproductibile și consistente pentru piesele de înaltă calitate să fie produse la un preț competitiv. Amestecul de performanță și accesibilitate face ca brațul robotului de alumină să fie ideal pentru fabricile OEM și semiconductor, unde aveți nevoie de componente de automatizare fiabile care nu rup banca.
În rezumat, brațul robotului de alumină oferă performanțe mecanice ridicate, performanțe dielectrice ridicate, rezistență termică ridicată, performanțe chimice ridicate, toate cu o producție dovedită la un preț economic. Colectiv, aceste caracteristici de performanță o fac fiabilă și eficientă pentru aplicațiile de manipulare a plafonilor de precizie la fabricarea semiconductorilor, permițând un randament îmbunătățit, potențial scăzând riscul de contaminare și îmbunătățind eficacitatea generală a echipamentului.