Farfurii de bază pentru montarea aluminei

Plăcile de bază pentru montarea din alumină semicorexă sunt produse ceramice de înaltă puritate, proiectate ca baze durabile și stabile pentru montarea mandaturilor de lucru în echipamentele de fabricație a semiconductorilor. Aceste plăci oferă sprijin și aliniere mecanică critică pentru operațiunile de procesare a plafonilor, cum ar fi litografia, gravura, depunerea și inspecția. Este esențial să aliniați cu exactitate mand -ul de lucru cu alte componente ale sistemului pentru a vă asigura că procesarea plafonului poate apărea cu fidelitatea necesară. Plăcile sunt fabricate prin tehnici de procesare specifice ceramicii pentru a obține planeitatea necesară, durabilitatea la temperaturi ridicate și fiabilitatea pe termen lung pentru a îndeplini cerințele dure ale fabricării moderne de semiconductor atât în medii de proces, cât și în camera curată.

Plăcile de bază pentru montare din alumină semicorexă sunt fabricate din puritate de înaltă puritatealuminăavând un nivel de puritate ≧ 99,5% (tipic). O alumină de înaltă puritate are proprietăți mecanice și termice bune, precum și duritate. Alumina de înaltă puritate are proprietăți excelente de izolare electrică inerentă, care permit, de asemenea, utilizarea acestor plăci în aplicații de vid și de înaltă tensiune, unde interferența electrică poate fi o problemă. Alumina va fi rezistentă la ciclismul termic, ceea ce permite plăcilor să mențină o precizie dimensională mai bună decât majoritatea materialelor și este benefică pentru menținerea alinierii sau a stabilității structurale datorită expansiunii termice reduse. Acest factor este important în asigurarea repetabilității Cucului și a toleranțelor implicite ale procesului, în timp ce operează pe cicluri de producție extinse.

În sistemele de procesare a semiconductorilor, o placă de bază de montare nu este pur și simplu un dispozitiv pentru fixarea mecanică. Este mediul de contact termic între mandrina și restul echipamentului și este esențial pentru disiparea termică, integritatea structurală și izolarea vibrațiilor. Acțiuni de procesare, cum ar fi (dar fără a se limita la) CVD, PVD sau implantare ionică, unde temperaturile ridicate și presiunile de vid sunt obișnuite, necesită o bază de montare rezistentă la termic, inertă chimic și rezistentă, sunet mecanic și rezistentă la șoc termic. Inerea chimică este vitală, deoarece o montare trebuie să fie compatibilă cu gazele reactive, precum și cu curățarea chimicelor, extinzând durata de viață utilă a monturii și prevenind contaminarea.

Fiecare placă de bază de montare din alumină realizată de semicorex este prelucrată la toleranțele cerute de OEM -uri semiconductoare și integratori de echipamente. Plăcile sunt prelucrate la toleranțe strânse pentru grosime, variație de înălțime și planeitate pentru a asigura stabilitatea maximă și repetabilitatea. Aceste plăci de montare pot fi realizate cu găuri de montare, sloturi sau contracte pe specificațiile clienților pentru a găzdui mai bine muturile de lucru, etapele mecanice sau alte echipamente. Ceramica de alumină este procesată folosind tehnici moderne de sinterizare și de măcinare de precizie pentru a optimiza o microstructură uniformă și o calitate a suprafeței pentru a asigura contactul termic și alinierea constantă pentru utilizare în timp.

Plăcile de bază pentru montarea aluminei semicorexului sunt utilizate într -o varietate de aplicații, inclusiv manipulatori de wafer, sisteme de transfer robotizate, ansambluri de mandrine de vid și etape de metrologie. Această fiabilitate și durabilitate într -o varietate de situații de proces solicitante, le face produsul la alegere, cu producătorii de scule care caută componente ceramice robuste, de lungă durată. Grupul nostru de inginerie este partener cu clienții pentru a oferi soluții unice specificate pentru fiecare placă pentru a maximiza eficiența pentru producție într -un semiconductor.

Plăcile de bază pentru montarea aluminei sunt mai mult decât un suport mecanic; Este o componentă cheie în inginerie de precizie în industria semiconductorilor. Cu o stabilitate mecanică excelentă, puritate și configurabilitate, acestea asigură alinierea exactă, durata de viață lungă și funcționarea de încredere într -o gamă extinsă de instrumente de proces. Pentru plăci de bază de înaltă performanță, îndeplinind așteptările ridicate ale producătorilor de semiconductori de astăzi, Trust Semicorex.