Efector final ceramic alumina

Efectorul final al ceramicii din alumină din alumina este un instrument esențial în sistemele automate de transfer de placă, oferind o rezistență mecanică de neegalat, stabilitate termică și rezistență chimică. Fabricat folosind high-puritateceramică de alumină (al₂o₃), acest efector final este conceput pentru a răspunde cerințelor stricte ale mediilor de procesare a plafonilor, unde precizia, curățenia și durabilitatea sunt esențiale.

Armele robotului semiconductor sunt una dintre părțile importante ale echipamentelor cu semiconductor. De obicei, sunt compuse din controlere, șoferi, brațe și efectori de capăt. Acestea sunt caracterizate de o curățenie ridicată, stabilitate ridicată, precizie ridicată, eficiență ridicată și fiabilitate ridicată. Roboții cu semiconductor sunt folosiți în principal în procesul front-end al fabricației semiconductorilor pentru a transporta, transporta și poziționa napolitane cu semiconductor.

Structura ceramică cu conținut de alumină de obicei mai mare de 99,5% va oferi o duritate superioară și rezistență la uzură pentru mișcări repetate în medii de înaltă precizie, fără degradare în timp. Conductivitatea termică ridicată și expansiunea termică scăzută a aluminei permit o stabilitate dimensională în medii cu temperatură ridicată, o necesitate în majoritatea operațiunilor cu curat în semiconductori, cum ar fi un etalon, depozitare, inspecție sau instrument de curățare.

TheCeramică de aluminăEffectul final are un finisaj caracteristic de suprafață caracteristic, care este neted și are o porozitate scăzută, ceea ce îl face aproape de zero particule generate și minimizare sau efect zero asupra contaminanților în timpul manipulării plafonului. În plus, alumina este inertă chimic. Aceasta înseamnă că nu va reacționa cu niciunul dintre gazele procesului și cu orice lichide de proces cu care este în contact placa de proces. Acest lucru protejează placa și orice contaminare la sine și echipamentele de orice lucru care poate provoca coroziune.

Acestea sunt utilizate în general ca efectori de capăt sau un mecanism de prindere pentru brațe robotizate sau module de transfer în echipamentele și echipamentele de fabricație a plafonului, precum un instrument de etanș sau depostion, un instrument de inspecție sau curățare cu sloturi precise, caneluri sau canale de vid care surprind dimensiunea reale a plafonului, fie că este de 100 mm, 200 mm sau 300 mm și transfer de spălătorii, fie de 100 mm, 200 mm. Efectorii de la capăt vor gestiona de obicei viteza transferurilor de wafer la 25 cm/secundă.

Există opțiuni de personalizare de -a lungul liniilor de proiectare pentru anumite interfețe de echipamente sau dimensiuni de plafon. Rigiditatea structurală a aluminei permite profiluri subțiri și ușoare care reduc la minimum masa generală a sistemului de manipulare și duc la timp de răspuns mai rapid. Unele configurații pot adăuga, de asemenea, componente anti-statice sau izolatoare pentru a oferi o protecție suplimentară substraturilor electronice sensibile.

În general, efectorul final al ceramicii aluminei oferă o soluție eficientă care promovează randamentul îmbunătățit și contaminarea redusă, unde fiabilitatea operațională este elemente cheie pentru linia de procesare a waferului. Cu durabilitatea și caracteristicile sale de performanță fizică, efectorul final eficient și rentabil de alumină ceramică se distinge ca o alegere populară între producătorii de echipamente semiconductoare și fabricile care necesită standarde de producție stricte într-un mediu ultra-curat.