ARMUL CERAMIC ALUMINA

Semicorex Alumina Ceramic Arm este o componentă proiectată care este dezvoltată la cele mai înalte specificații pentru aplicațiile semiconductoare. Fabricat din alumină de înaltă puritate (Al₂o₃), este un braț robotizat care prezintă o combinație unică de rezistență mecanică, stabilitate termică și rezistență chimică. Brațul nu este conceput doar pentru a fi utilizat doar pentru manipularea plafonului, ci și trebuie să ofere asistență de proces pe site -urile de fabricație avansate. De asemenea, trebuie să se asigure că navele sunt transferate, poziționate și procesate fără contaminare sau deteriorare; îmbunătățirea randamentelor și fiabilitatea procesului.

Aluminăeste una dintre ceramica tehnică care găsește cea mai largă utilizare în domeniul ceramic tehnic. Alumina este cunoscută pentru duritatea, rezistența la uzură și stabilitatea în medii agresive. Pentru ca obiectivele brațului ceramic să gestioneze manipularea plafonului fără a introduce contaminarea, acesta poate exploata proprietățile aluminei și poate oferi un nivel mult mai mare de rezistență la abraziune ca urmare a dimensiunii sale ridicate de puritate și a particulelor; Prin urmare, nu va genera particule excesive în timpul mișcărilor sale repetate, fie cu napolitane, fie cu substraturi semiconductoare de orice alt tip.  Densitatea și porozitatea scăzută pe care o găzduiește, de asemenea, limitează în continuare potențialul de rupere a particulelor și se asigură că îndeplinește cerințele ultra-curate ale fabricilor de dezvoltare a semiconductorilor, fără a distrage curățenia necesară pentru manipularea dispozitivului submicron.

Aluminăposedă o stabilitate termică excepțională, pe lângă rezistența sa mecanică. Brațul ceramic de alumină poate suporta temperaturi extreme ale procesului, fără a deforma, a crăpa sau a pierde puterea. Această proprietate îl face ideal pentru încorporarea în orice etapă de proces care include expunerea la temperaturi ridicate, cum ar fi difuzarea, oxidarea sau etapele de anexare. Napolitane vor avea o fiabilitate îmbunătățită pentru transfer într -un mediu de proces provocator, deoarece păstrează integritatea mecanică în cadrul ciclului termic.

Rezistența chimică este o altă pozitivă fundamentală a brațului ceramic de alumină. În fabricarea semiconductorilor, tratamentele sunt adesea efectuate pe napolitane care includ acizi puternici, alcali și alte substanțe chimice agresive. În timp ce componentele metalice pot coroda sau scurge impuritățile, alumina este inertă chimic, ceea ce protejează integritatea atât a brațului, cât și a napolitanelor pe care le gestionează. Prin urmare, inerția prelungește durata de viață a componentei, reducând în același timp posibilitatea contaminării în timpul etapelor de proces critice, cum ar fi curățarea umedă sau depunerea de vapori chimici.

Brațul ceramic de alumină este proiectat cu accent pe compatibilitate și precizie. Fiecare braț este realizat la toleranțe dimensionale strânse, asigurând alinierea și mișcarea exactă a waferului și compatibilitatea cu echipamentele automate de manipulare a navei și sisteme robotizate. Finisajul de suprafață neted și lustruit prezintă o interfață de frecare scăzută cu placa care reduce șansa de a zgâria placa, ceea ce este esențial pentru integritatea plafonului/curățenia mediului și reducerea vitezei de defecte. Aceste toleranțe proiectate asigură că brațul funcționează liber într-un mediu cu randament ridicat cu ritm rapid și permite fluxurile de lucru semiconductoare atât umane, cât și complet automatizate pentru braț.

Brațul ceramic de alumină depășește doar performanța chimică și mecanică și are impact asupra eficienței de funcționare și a economiilor de costuri pe mai multe niveluri. Natura dovedită durabilă a ceramicii permite brațului să depășească materialele compozite precum materiale plastice sau aluminiu în ceea ce privește longevitatea de proiectare sub încărcare mecanică repetitivă și, prin urmare, reduce cantitatea de costuri de oprire operaționale și/sau costuri de înlocuire implicate. Capacitatea de a rezista la medii dure include curățenia mediului, producând totodată mai puține întreruperi de fabricație, ceea ce duce la o îmbunătățire a producției consistente de wafer, adică randamentul și, în final, mai puțin resturi, ceea ce duce la un ROI mai mare (rentabilitatea investițiilor) pentru producătorii de semiconductori.

Opțiunile pentru utilizareaCeramică de aluminăARM pentru procesele semiconductoare sunt practic interminabile - de la mutarea napolitane între băncile umede, cuptoarele de difuzie și camerele de depunere la instrumentele de inspecție și metrologie care utilizează substraturi. Versatilitatea acestui produs nu numai că îi permite să fie utilizată pentru aplicațiile de manipulare a plafonilor, dar sunt necesare situații de automatizare în cazul în care sunt necesare precizia, curățenia și fiabilitatea. Industria semiconductorilor se deplasează inexorabil către noduri mai mici și o complexitate crescută în fabricarea dispozitivelor, iar pe măsură ce industria continuă să ceară soluții mai bune de gestionare fiabile și care nu sunt contaminante, brațul robotizat ceramic creează o cale clară înainte.