O scurtă introducere la Dummy Wafers

Fabricarea avansată a semiconductorilor constă în mai multe etape ale procesului, inclusiv depunerea de peliculă subțire, fotolitografie, gravare, implantare ionică, lustruire mecanică chimică. În timpul acestui proces, chiar și micile defecte ale procesului pot avea un efect negativ asupra performanței și fiabilității cipurilor semiconductoare finale. Prin urmare, este o provocare semnificativă menținerea stabilității și consecvenței procesului, precum și efectuarea unei monitorizări eficiente a echipamentelor. Napolitanele sunt instrumente esențiale care ajută la abordarea acestor provocări.

Napolitanele false sunt napolitane care nu poartă circuite reale și nu sunt utilizate în procesul final de producție a cipurilor. Acestenapolitanepot fi napolitane de testare noi, de calitate inferioară sau napolitane recuperate. Spre deosebire de plăcile scumpe utilizate pentru fabricarea circuitelor integrate, acestea sunt de obicei utilizate pentru diverse non-producție, care sunt esențiale pentru producția de semiconductori.

Aplicații ale Dummy Wafers

1.Calificarea procesului și reglarea

Napolitanele simulate sunt utilizate în mod obișnuit pentru testare înainte de aceste situații pentru a asigura stabilitatea procesului și conformitatea cu performanța echipamentului, cum ar fi înainte de punerea în funcțiune a noilor echipamente de proces, după întreținerea sau înlocuirea componentelor echipamentelor existente și în timpul dezvoltării de noi rețete de proces. Verificarea performanței echipamentului și ajustarea precisă a parametrilor procesului pot fi finalizate cu succes prin analiza rezultatelor procesării pe plachetele false, ceea ce reduce efectiv pierderea de napolitane de produs și reduce costurile de producție pentru întreprinderi.

2.Echipment Conditioning & Warm-up

Mediul camerei al multor echipamente de proces cu semiconductori (de exemplu, echipamente de depunere chimică în vapori (CVD), echipamente de depunere fizică în vapori (PVD) și mașini de gravare) are un impact semnificativ asupra rezultatelor procesării. De exemplu, starea acoperirii și distribuția temperaturii pe pereții interiori ai camerei trebuie să atingă o stare stabilă. Napolitanele simulate sunt adesea folosite pentru a condiționa camerele de proces și pentru a stabiliza mediul intern (de exemplu, temperatura, atmosfera chimică și starea suprafeței) al camerelor, ceea ce previne eficient abaterile procesului sau defectele din primul lot de napolitane de produs cauzate de echipamentul care nu funcționează în starea sa optimă.

3. Monitorizarea particulelor și controlul contaminării

Fabricarea semiconductorilor are cerințe de curățenie extrem de ridicate; chiar și contaminarea cu particule mici poate duce la defectarea cipului. Prin examinarea particulelor care aderă la suprafața plachetelor false introduse în echipament, se poate evalua curățenia echipamentului. Astfel, napolitanele de produs pot fi protejate cu succes de contaminare prin identificarea promptă a posibilelor surse de contaminare și punerea în aplicare a procedurilor de curățare sau întreținere.

4.Umplerea slotului pentru uniformitatea lotului

Pentru a obține fluxul de gaz, distribuția temperaturii și concentrația reactanților în camera de proces, funcționarea la sarcină completă este practica obișnuită în echipamentele de procesare a loturilor, cum ar fi cuptoarele de difuzie, cuptoarele de oxidare sau rezervoarele de curățare umedă. Napolitanele false sunt folosite pentru a umple fantele goale din barca de napolitană care nu au un număr suficient de napolitane de produs, ceea ce poate reduce efectul de margine și poate asigura condiții de procesare consistente pentru toate napolitanele de produs, în special pentru cele situate la marginile barcii de napolitană.

5.Stabilizarea proceselor de lustruire chimică mecanică (CMP).

Vaferele simulate pot fi, de asemenea, utilizate în etapa de pretratare a procesului CMP pentru a menține stabilitatea procesului. Testarea înainte de rulare cu plachete false optimizează rugozitatea și porozitatea discului de lustruit, minimizează incertitudinile procesului în timpul fazei de stabilizare a pornirii sau fazei de tranziție înainte de oprire și reduce zgârieturile și defectele plachetelor cauzate de alimentarea anormală cu șlam și uzura diafragmei capului.

Semicorex oferă cost-eficienteNapolitane false SiC. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.

Numărul de telefon de contact +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com