Acoperire TaC cu metoda CVD

Acoperirea cu carbură de tantal este un material structural important de înaltă rezistență, rezistent la coroziune și stabil chimic, la temperatură înaltă, cu un punct de topire de până la 4273 °C, unul dintre câțiva compuși cu cea mai mare rezistență la temperatură. Are proprietăți mecanice excelente la temperatură ridicată, rezistență la curățarea fluxului de aer de mare viteză, rezistență la ablație și o bună compatibilitate chimică și mecanică cu grafit și compozite carbon/carbon. Prin urmare, în procesul epitaxial al LED-urilor GaN și al dispozitivelor de putere SiC, cum ar fi MOCVD, acoperirea TaC are o rezistență excelentă la acid și alcali la H2, HCl, NH3, care poate proteja complet materialul substratului de grafit și poate purifica mediul de creștere.

Acoperirea TaC rămâne stabilă la temperaturi de peste 2000 °C, în timp ce stratul de SiC începe să se descompună la 1200-1400 °C, ceea ce va îmbunătăți, de asemenea, foarte mult integritatea substratului de grafit. Acoperirile cu carbură de tantal sunt pregătite în prezent pe substraturi de grafit în principal prin CVD, iar capacitatea de producție a acoperirilor TaC va fi îmbunătățită în continuare pentru a satisface cererea de dispozitive de putere SiC și dispozitive epitaxiale GaNLED.

Sistemul de reacție chimică utilizat pentru a depune acoperiri cu carbură de tantal pe materialele carbonice prin depunere chimică de vapori (CVD) este TaCl5, C3H6, H2 și Ar, unde Ar este folosit ca gaz de diluție și transport.

Acoperirile cu carbură de tantal joacă un rol esențial în procesul epitaxial al LED-urilor GaN și al dispozitivelor de putere SiC care utilizează MOCVD. Materialele avansate protejează componentele vitale, asigurându-le longevitatea și performanța în condițiile dure asociate producției de semiconductori la temperatură înaltă.

Pe măsură ce cererea de dispozitive de putere SiC și LED-uri GaN continuă să crească, capacitatea de producție a acoperirilor cu carbură de tantal este programată să se extindă. Producătorii sunt pregătiți să îndeplinească cerințele în creștere ale acestor industrii, facilitând evoluția tehnologiei de înaltă temperatură.

În concluzie,acoperiri cu carbură de tantalreprezintă un salt tehnologic incredibil în asigurarea durabilității și fiabilității materialelor în medii cu temperaturi ridicate. Pe măsură ce continuă să revoluționeze sectoarele semiconductoarelor și electronicii de putere, aceste acoperiri subliniază statutul lor de element critic al progreselor moderne de înaltă tehnologie.