Acoperiri cu carbură de tantal în industria semiconductoarelor

Dezvoltarea LED-urilor albastre și UV de mare putere a permis crearea de ecrane TV LED color, precum și de iluminat auto și casnic cu LED alb. Aceste LED-uri se bazează pe nitrură de galiu, care este depusă pe plăci de substrat susținute de susceptor de grafit acoperit cu CVD SiC folosind procesul MOCVD. Cu toate acestea, acoperirea SiC este atacată de gazul de amoniac utilizat în proces, reducându-i durata de viață. Pentru a îmbunătăți durata de viață a acoperirii și a reduce costul total, industria are nevoie de o nouă opțiune de acoperire mai inertă. Carbura de tantal este considerată un înlocuitor, deoarece poate spori foarte mult rezistența la această atmosferă agresivă și poate oferi o soluție care nu este disponibilă în prezent. Semicorex vinde piese de grafit acoperite cu CVD TaC furnizorilor din industria semiconductoarelor.

Produsele noastre din grafit acoperite cu TaC sunt cunoscute pentru rezistența lor superioară la căldură în comparație cu produsele din grafit acoperite cu SiC. Ca rezultat, ele sunt utilizate în mod popular în procesarea semiconductoarelor, cum ar fi procesul epitaxial al plachetelor de SiC, care sunt utilizate la temperaturi mai ridicate. Cererea pentru produsele noastre crește odată cu creșterea pieței.

Semicorex oferă piese de grafit acoperite cu TaC de înaltă calitate, cu servicii personalizate. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.

Telefon de contact +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com