Ce sunt paletele cantilever?

În timpul prelucrării plachetelor semiconductoare, sunt folosite cuptoare specializate pentru a încălzi napolitanele. Aceste cuptoare conțin tuburi cilindrice alungite în care napolitanele sunt plasate pe barci de napolitană în poziții predeterminate și echidistante. Pentru a se asigura că echipamentul de procesare nu risipește napolitanele și pentru a rezista la condițiile de procesare din cameră, barcile de napolitană și alte dispozitive utilizate în prelucrarea plachetelor sunt fabricate din materiale precum carbura de siliciu (SiC).

Barcile de napolitană, încărcate cu un lot de napolitane de prelucrat, sunt poziționate pe palete lungi în consolă. Aceste palete pot fi introduse și retrase din cuptoarele tubulare și reactoare. Paletele constau dintr-o secțiune de transport aplatizată care poate ține una sau mai multe bărci și un mâner lung situat la un capăt al secțiunii de transport aplatizată pentru o manipulare ușoară.

Pentru cele mai bune componente în prelucrarea semiconductoarelor, se recomandă utilizarea unei palete cantilever din carbură de siliciu recristalizată cu un strat subțire CVD SiC. Acest material este de înaltă puritate și este cea mai bună alegere pentru astfel de componente.

Semicorex fabrică palete cantilever personalizate cu acoperire CVD SiC de înaltă calitate. Dacă aveți întrebări sau aveți nevoie de detalii suplimentare, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați.

Telefon de contact +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com