Care este funcția inelelor de focalizare?

Inelele de focalizare sunt componentele esențiale pentru a asigura uniformitatea și stabilitatea proceselor de gravare a semiconductorilor. Prin controlul precis al câmpurilor electrice și termice, inelele de focalizare pot concentra plasma pe suprafața plachetei, asigurând rezultate consistente de gravare în toate locațiile de pe placă.

Funcțiile inelelor de focalizare

1. Îmbunătățiți uniformitatea gravării

În procesul de gravare, inelele de focalizare pot concentra plasma penapolitanasuprafață, care garantează efectiv densitatea plasmei uniforme, unghiul de bombardament ionic și niveluri de energie atât pe marginea plachetei, cât și în regiunile centrale. Acestea corectează distribuția câmpului electric la marginea plachetei, reducând rata de gravare, dimensiunea critică și variațiile de morfologie cauzate de efectele de margine, asigurând astfel consistența gravării pe întreaga suprafață a plachetei. Dacă inelul de focalizare este uzat excesiv sau nu există inel focal, plasma va difuza de la marginea plachetei, provocând în cele din urmă abateri neconforme ale lățimii liniei între regiunile de margine și centru.

2. Protejați mandrina electrostatică

Inelele de focalizare sunt de obicei instalate în afara suprafeței purtătoare a plachetelor a mandrinelor electrostatice, expuse direct bombardamentului cu plasmă și coroziunii. Această instalare este o barieră fizică pentru a împiedica plasma să intre în contact cu mandrinele electrostatice în timpul procesului de gravare, reducând astfel în mod semnificativ riscul de deteriorare a plasmei. Inelele de focalizare pot preveni, de asemenea, ca produsele secundare generate în timpul procesului de gravare să adere la mandrinele electrostatice, evitând astfel degradarea performanței cauzată de contaminarea și înfundarea mandrinei. Acest lucru extinde foarte mult ciclul de întreținere și durata de viață a mandrinelor electrostatice, reducând costurile de întreținere și înlocuire a echipamentelor.

Inelele de focalizare sunt de obicei fabricate din puritate ridicatăcuarţ, siliciuşicarbură de siliciumateriale. Datorită performanței lor cuprinzătoare excelente, materialele cu carbură de siliciu devin treptat opțiunea principală pentru procesele de gravare de ultimă oră. În calitate de furnizor de inele de focalizare semiconductoare de încredere în China, Semicorex oferă calitate înaltăinele de focalizare din carbură de siliciude diferite dimensiuni pentru a se potrivi cu diferitele cerințe ale echipamentului de gravare. Semicorex acceptă întrebările și achizițiile dumneavoastră în orice moment.